Introduzione al prodotto:
Misura micro tridimensionale della struttura superficiale, misura senza contatto della rugosità tridimensionale della superficie
Oggetto di rilevamento:
Componenti ottici di precisione, micro dispositivi di lavorazione nano, parti lavorate in metallo
Industrie mirate:
Vari istituti di ricerca e imprese impegnati nell'analisi di superficie quali semiconduttori, automobili, energia solare, ottica di precisione, ecc
parametro tecnico
Parametri tecnici:
1.Ripetibilità longitudinale della misura: 0,5nm(PSIModalità) Risoluzione verticale:2nm
2.Campo di misura longitudinale:15mm
3.Errore di indicazione della misurazione dell'altezza:<3%
4.Dotato di funzione di misurazione ad altissima risoluzione laterale (risoluzione laterale)100nm)
5.Ricco software di analisi delle caratteristiche 3D e funzioni di analisi della rugosità
6.Adottando la struttura hardware resistente sismica e la progettazione dell'algoritmo software
Esempi di misurazione
VLSIRisultati tridimensionali di misurazione del blocco standard di passo nano Misura della microstruttura tridimensionale della superficie di lavorazione della macinazione

